Error processing SSI file

Геттерный насос

  1. Назначение:
    1. Обеспечение безмасляной откачки высоковакуумных систем
    2. Реализация квазистатического режима откачки (поглощение только химически активных газов) при масс-спектрометрическом анализе ультрамалых концентраций инертных газов
    3. Обеспечение режима измерений в установке гелиевой дефектоскопии кристаллов
  2. Диапазон рабочих давлений - (1-10-7) Па
  3. Рабочая температура геттера - комнатная (300 К) 
  4. Температура регенерации - (от 900 К)
  5. Предельное разрежение
    1. Без ловушки - 1-10-6 Па
    2. С азотной ловушкой (АЛ) - 1-10-7 Па
  6. Длительность поддержания дежурного вакуума в измерительных системах (5-10-5 Па без АЛ, 5-10-6 Па с АЛ) - не менее 2 месяцев
  7. Увеличение чувствительности масс-спектрометрического анализа инертных газов за счет применения квазистатического режима откачки геттерным насосом - ~ 103 раз
  8. Чувствительность определения ультрамалых концентраций дефектов в кристаллах методом гелиевой дефектоскопии с применением геттерного насоса в измерительной системе - до 1012 см-3
Error processing SSI file